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Inficon PGD400 配合Inficon PSG500一起,可提供*具經(jīng)濟(jì)效益的壓強(qiáng)檢測方案,我們可以選擇測量單位為:Pa, mbar及 Torr, 其中:1Pa=1.0*10-2mbar=7.5*10-3Torr
任何具體物理現(xiàn)象與壓力的關(guān)系,都是在某一壓力范圍內(nèi)才*顯著,超出這個(gè)范圍,關(guān)系變得弱了。因此,任何方法都有其一定的測量范圍,這個(gè)范圍就是真空計(jì)的“量程”。盡可能擴(kuò)展每一種方法的量程,是真空科學(xué)研究的重要內(nèi)容之一。英??嫡婵沼?jì)維修
在較高壓力時(shí)(105~1Pa)利用壓力差U型管壓力計(jì),麥克勞真空計(jì),薄膜計(jì),彈簧管壓力計(jì)等。 在103~10-2 Pa的中間壓力范圍,利用氣體性質(zhì)(熱傳導(dǎo),粘性)的變化而做成的皮氏計(jì)、粘性真空計(jì)。在低壓力時(shí),使用將氣體分子電離而測量的電離真空計(jì)
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近代真空技術(shù)所涉及到的壓力范圍寬達(dá)19個(gè)數(shù)級(105~10-14 Pa),沒有任何一種真空計(jì)能測量如此寬的壓力范圍,因此總是用幾種真空計(jì)分別管轄一定的區(qū)域。但由于各種真空計(jì)在原理上的差異.在相互銜接的區(qū)域,往往要造成較大的誤差。由上觀之,為改善真空計(jì)性能及提高真空測量準(zhǔn)確度,必須突出主要現(xiàn)象,抑制寄生現(xiàn)象。表1給出一些真空計(jì)的壓力測量范圍。
INFICON(Instruments For Intelligent Control),中譯英??担强偛课挥谌鹗堪偷吕悠澋囊患覍iT研發(fā)、制造及供應(yīng)半導(dǎo)體和真空鍍膜產(chǎn)業(yè)的儀器、偵測器與控制軟件公司。在制冷、空調(diào)、汽車產(chǎn)業(yè)也提供zhuan業(yè)的氣體泄漏鑒測儀器,用于鑒定及分析有毒化學(xué)物品。
Inficon 皮拉尼真空計(jì),對應(yīng)測量范圍 1000mbar---5.0*10-4mbar :
Inficon PSG500 + Inficon PGD400
Inficon PSG500-s + Inficon PGD400
Inficon PSG502-s + Inficon PGD400
Inficon PSG510-s + Inficon PGD400
Inficon PSG512-s + Inficon PGD400
Inficon PSG550 + Inficon PGD400
Inficon PSG552 + Inficon PGD400
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導(dǎo)熱真空計(jì)為何易衰老?答:因熱絲長期性運(yùn)行在持續(xù)高溫下,受汽體功效易空氣氧化變窄,或造成熱絲自身結(jié)晶體結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)變,因而會(huì)更改熱絲的電阻器,導(dǎo)致零點(diǎn)的飄移,這也是歸屬于熱絲本身的。熱絲表層因會(huì)吸咐汽體而更改了表層的融入指數(shù),即熱交換器的體制,導(dǎo)致敏感度的轉(zhuǎn)變。以上均歸屬于衰老狀況。
Inficon UL200氦質(zhì)譜檢漏儀采用Leybold 35LS分子泵,Inficon UL200氦質(zhì)譜檢漏儀*高檢測到up to 5 x 10-10 mbar l s-1.
真空檢漏可分成哪兩類?答:可以分成:1)工作壓力檢漏法,包含①打氣檢漏法,②鹵素?zé)襞輽z漏法,③氨檢漏法。2)真空檢漏法,包含①高頻率火苗檢漏法,②真空計(jì)檢漏法,③質(zhì)譜儀檢漏法。
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